빛과 랜즈를 이용하는 '투사 노광법'은 사진기에 적용되는 기술들과 흡사하다. 카메라의 성능을 나타내는 DoF(Depth of Focus/field)나 Resolution(해상도)같은 것들이 노광장비에서도 동일하다. 여기서는 먼저 Resolution 즉 해상도의 노광공정상에서 의미와 그 값을 작게 할 수 있는 것들을 먼저 알아보겠다. Resolution (해상도) 해상도는 말 그대로 '빛을 분해하는 능력'이다. 우리가 흔히 해상도라고 하는 말은 디스플레이가 얼마나 더 고품질 패널인지에 대해서 말할 때 자주 사용한다. 그 디스플레이 패널에서도 해상도가 좋다는 것은, 픽셀이 작아 더 촘촘하게 색을 표현할 수 있다는 의미이다. 노광공정에서의 해상도의 의미도 동일하다. 분해를 더 잘게 할 수 있으면, Wafer ..
