J's 공부방

빛과 렌즈를 이용한 '투사 노광법'에서 가장 중요하게 생각해야 할 지표가 두가지. 빛을 분해할 수 있는 능력을 나타내는 Resolution 해상도와. 이번 포스트에서 알아볼 DoF (Depth of Focus) '초점심도' 라는 지표이다. 초점심도를 말로 먼저 설명해 보자면. "렌즈의 초점으로부터 얼마만큼 떨어져서도 유효한 상을 얻을 수 있는가" 이다. 가장 쉽게 생각해볼 수 있는 실생활의 예시는 카메라이다. 카메라에서 우리가 찍고자 하는 물체를 선명하게 하기 위해서 렌즈값을 조절한다. 만약 이때 DoF의 여유가 넓지 않은 카메라거나 렌즈라면. 우리가 찍고자 하는 물체에 포커스를 맞추는 시간 자체도 오래 걸릴 뿐 아니라(미세하게 조정해야 하기 때문) 어렵게 맞춘 그 포커스에 있는 물체만 선명하고, 나머지..

빛과 랜즈를 이용하는 '투사 노광법'은 사진기에 적용되는 기술들과 흡사하다. 카메라의 성능을 나타내는 DoF(Depth of Focus/field)나 Resolution(해상도)같은 것들이 노광장비에서도 동일하다. 여기서는 먼저 Resolution 즉 해상도의 노광공정상에서 의미와 그 값을 작게 할 수 있는 것들을 먼저 알아보겠다. Resolution (해상도) 해상도는 말 그대로 '빛을 분해하는 능력'이다. 우리가 흔히 해상도라고 하는 말은 디스플레이가 얼마나 더 고품질 패널인지에 대해서 말할 때 자주 사용한다. 그 디스플레이 패널에서도 해상도가 좋다는 것은, 픽셀이 작아 더 촘촘하게 색을 표현할 수 있다는 의미이다. 노광공정에서의 해상도의 의미도 동일하다. 분해를 더 잘게 할 수 있으면, Wafer ..

이번 포스트에서는 노광 세부 과정중 노광 직전에 실시하는 Soft Bake 라고 하는 과정을 살펴볼 것이다. Soft Bake Bake 공정은 단어 뜻 그대로 '구워준다'라는 뜻으로 열을 가해준다는 의미이다. 모든 공정 단계에서 이유가 없는 과정은 없듯이 Bake 공정도 아무런 이유없이 열을 가해주는 것이 아니다. Soft Bake 과정은 PR이 웨이퍼 위에 도포하는 단계 바로 뒤에 이루어 지는데. 앞선 포스트에서 알아봤듯이 PR에는 Solvent 라고 하는 유기용매가 97%를 이루고 있다. 이는 곧 PR이 액체의 성질을 가지고 있어 물과 같이 흘러내리는 상태라는 것이다. 이 때 노광 공정을 그대로 진행하게 되면 물처럼 묽은 PR이 찰랑거리거나 흔들릴 수 있으므로. 유기용매를 제거해줄 수 있는 과정이 필..