0. Photo(사진/빛) + lithogrphy(석판 인쇄)의 뜻을 가진 단어로. 직역하면 돌판 위에 빛을 이용하여 인쇄한다는 뜻이다. 반도체 8대 공정 중 포토공정인 Photolithography 공정은 단연코 가장 중요한 공정으로 손꼽힌다. 그 이유는 처음으로 원하는 회로의 모양을 wafer위에 그려넣는 단계이기 때문이다. 반도체의 집적화와 초미세화 등 최신 반도체의 흐름에는 다른 반도체 8대 공정도 영향을 미치지만 '노광 공정'만큼 큰 영향력을 갖고있지는 않다. 왜냐하면 일단 노광공정이 제대로 되지 않는다면 미세한 패턴을 그려넣는 것 부터 실패하기 때문이다. 증착이던 식각이던, 일단 우리가 아주 작게 회로를 그려낼 수 있어야 그 다음 문제로 넘어가는 것이다. 이번 포스트에서는 반도체 8대 공정중 ..
