이번 포스트에서는 노광 세부 과정중 노광 직전에 실시하는 Soft Bake 라고 하는 과정을 살펴볼 것이다. Soft Bake Bake 공정은 단어 뜻 그대로 '구워준다'라는 뜻으로 열을 가해준다는 의미이다. 모든 공정 단계에서 이유가 없는 과정은 없듯이 Bake 공정도 아무런 이유없이 열을 가해주는 것이 아니다. Soft Bake 과정은 PR이 웨이퍼 위에 도포하는 단계 바로 뒤에 이루어 지는데. 앞선 포스트에서 알아봤듯이 PR에는 Solvent 라고 하는 유기용매가 97%를 이루고 있다. 이는 곧 PR이 액체의 성질을 가지고 있어 물과 같이 흘러내리는 상태라는 것이다. 이 때 노광 공정을 그대로 진행하게 되면 물처럼 묽은 PR이 찰랑거리거나 흔들릴 수 있으므로. 유기용매를 제거해줄 수 있는 과정이 필..
